各有关单位：
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下三项团体标准：
T/ICMtiaSM006-2021《集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片》
T/ICMtia PC007-2021《集成电路用氢氟酸》
T/ICMtia PC008-2021《集成电路用硝酸》
以上标准于2021年5月31日发布，并于2021年7月30日开始实施，特此公告。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
二零二一年五月二十日
