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中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布 T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》、T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》两项团体标准

2019-04-17 16:54:21 来源：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

　　各有关单位：

　　根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下2项团体标准：

　　T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》

　　T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》

　　以上标准于2019年4月17日发布，并于2019年10月10日开始实施，特此公告。

　　中关村集成电路材料产业技术创新联盟

　　二零一九年四月十七日

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