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中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布《集成电路用六氯乙硅烷》T/ICMTIA 3-2020 团体标准

2020-02-24 12:54:56 来源：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

　　各有关单位：

　　根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准。

　　本标准于2020年2月24日发布，并于2020年4月24日开始实施，特此公告。

　　集成电路材料产业技术创新联盟

　　二零二零年二月二十四日

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