各有关单位:
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》的要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布标准如下:
T/ICMTIA 4-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:液体甲基丙烯酸酯类》
T/ICMTIA 5-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:固体甲基丙烯酸酯类》
T/ICMTIA 6-2020《集成电路用ArF干式光刻胶》
T/ICMTIA 7-2020《集成电路用ArF浸没式光刻胶》
T/ICMTIA 8-2020《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》
以上标准于2020年12月31日发布,并于2021年3月1日开始实施,特此公告。
集成电路材料产业技术创新联盟
二零二零年十二月十八日