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中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:液体甲基丙烯酸酯类》T/ICMTIA 4-2020等五项团体标准

2020-12-18 14:37:42 来源:中关村集成电路材料产业技术创新联盟

  各有关单位:

  根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》的要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布标准如下:

  T/ICMTIA 4-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:液体甲基丙烯酸酯类》

  T/ICMTIA 5-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:固体甲基丙烯酸酯类》

  T/ICMTIA 6-2020《集成电路用ArF干式光刻胶》

  T/ICMTIA 7-2020《集成电路用ArF浸没式光刻胶》

  T/ICMTIA 8-2020《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》

  以上标准于2020年12月31日发布,并于2021年3月1日开始实施,特此公告。

  集成电路材料产业技术创新联盟

  二零二零年十二月十八日

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