各相关单位:
根据《中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准管理办法》的相关规定,现批准发布《碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法》(T/IAWBS 014-2021)和《氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(T/IAWBS 015-2021)团体标准。上述标准自2021年9月15日发布,自2021年9月22日起实施。
现予公告。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
2021 年 9 月 15 日
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根据《中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准管理办法》的相关规定,现批准发布《碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法》(T/IAWBS 014-2021)和《氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(T/IAWBS 015-2021)团体标准。上述标准自2021年9月15日发布,自2021年9月22日起实施。
现予公告。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
2021 年 9 月 15 日
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