各相关单位:
根据《中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准管理办法》的相关规定,现批准发布三项团体标准。标准编号和名称如下:
1.T/IAWBS 005-2018 6英寸碳化硅单晶抛光片
2.T/IAWBS 006-2018 碳化硅混合模块测试方法
3.T/IAWBS 007-2018 4H碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
上述三项标准自2018年12月6日发布,自2018年12月17日起实施。
现予公告!
附件:中关村天合宽禁带联盟关于批准发布《6寸碳化硅单晶抛光片》等三项团体标准的公告