各联盟成员单位：
按照CASAS相关管理办法，团体标准T/CASAS 025—2023《8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸》、T/CASAS 026—2023《碳化硅少数载流子寿命测定 微波光电导衰减法》、T/CASAS 032—2023《碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》已遵照流程完成制定工作，现予以发布。
标准编号及名称：T/CASAS 025—2023《8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸》
标准编号及名称：T/CASAS 026—2023《碳化硅少数载流子寿命测定 微波光电导衰减法》
标准编号及名称：T/CASAS 032—2023《碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》
特此通知。
第三代半导体产业技术创新战略联盟
2023年6月19日
