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> T/CASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
T/CASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
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大小:
513.24 KB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
综合团体标准
更新日期:
2022-09-19
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关键词:
衍射
弯曲
第三代半导体产业技术创新战略联盟
平面
射线
资源简介
本文件规定了用高分辨X射线衍射法表征6H和4H碳化硅单晶衬底基平面弯曲的方法。
本文件适用于(0001)面或(0001)面偏晶向的6H和4H-碳化硅单晶衬底中基平面弯曲的表征。
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