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SJ 21535-2018 电力电子器件用碳化硅外延片规范

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  • 大小：5.96 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2022-09-15
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关键词：电力   碳化硅   外延   电子器件   SJ
资源简介
本规范规定了电力电子器件用碳化硅外延片(以下简称碳化硅外延片)的技术要求、质量保证、交货准备以及说明事项等内容。
本规范适用于电力电子器件用在n型4H碳化硅衬底上生长了n型(或P型)碳化硅同质外延层的外延片。
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