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SJ 21535-2018 电力电子器件用碳化硅外延片规范

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大小：5.96 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2022-09-15

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关键词：电力碳化硅外延电子器件 SJ

资源简介

本规范规定了电力电子器件用碳化硅外延片(以下简称碳化硅外延片)的技术要求、质量保证、交货准备以及说明事项等内容。
本规范适用于电力电子器件用在n型4H碳化硅衬底上生长了n型(或P型)碳化硅同质外延层的外延片。

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