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SJ 21534-2018 微波功率器件用氮化镓外延片规范

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  • 大小：8.94 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2022-09-15
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关键词：器件   微波   功率   氮化   外延
资源简介
本规范规定了微波功率器件用氮化镓外延片(以下简称氮化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。
本规范适用于微波功率器件用氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)外延片，也适用于微波单片集成电路用GaN HEMT外延片。
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