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SJ 21536-2018 微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范

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  • 大小：5.56 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2022-09-15
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关键词：器件   微波   集成电路   功率   外延
资源简介
本规范规定了微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片(以下简称砷化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。
本规范适用于砷化镓微波功率器件和砷化镓微波单片集成电路(MMIC)用砷化镓外延片，其他砷化镓外延片可参照使用。
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