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广东省真空学会发布《射频电源动态阻抗测试方法》T/GVS 007-2022 团体标准

2022-07-11 15:46:59 来源：广东省真空学会

　　各有关单位：

　　根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，由深圳市恒运昌真空技术有限公司牵头制定的《射频电源动态阻抗测试方法》团体标准，业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号，现对该项团体标准予以发布，于2022年7月11日起实施。标准编号和名称如下：

　　T/GVS 007—2022《射频电源动态阻抗测试方法》

　　本公告及标准文本可通过全国团体标准信息平台查阅。在标准使用过程若有疑问，请径向学会联系。联系人：唐振方 136-09644416

　　广东省真空学会

　　2022年7月11日

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