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广东省真空学会发布《光学真空镀膜职业技能等级规范》T/GVS 004-2022、《半导体装备用绝压式电容薄膜真空计比对法测试规范》T/GVS 005-2022 两项团体标准

2022-03-28 13:44:55 来源:广东省真空学会

  各有关单位:

  根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定,由中山火炬职业技术学院牵头制定的《光学真空镀膜职业技能等级规范》,以及季华实验室牵头制定的《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范》团体标准,业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号,现对该2项团体标准予以发布,于2022年3月28日起实施。标准编号和名称如下:

  T/GVS 004—2022《光学真空镀膜职业技能等级规范》

  T/GVS 005—2022《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范》

  在标准使用过程若有疑问,请径向学会联系。

  联系人:唐振方 13609644416

  广东省真空学会

  2022年3月28日

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