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浙江省分析测试协会发布《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》T/ZJATA 0017-2023 团体标准

2023-06-26 17:16:42 来源：浙江省分析测试协会

　　根据国家标准化管理委员会、民政部《团体标准管理规定》和《浙江省分析测试协会“浙江测试”团体标准管理办法》的相关规定，《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》(标准编号：T/ZJATA 0017-2023)浙江测试团体标准经本协会批准，自2023年7月20日起实施。

　　特此公告。

　　浙江省分析测试协会

　　2023年6月20日

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