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T/GVS 001-2021 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-18
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资源简介
本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。
本文件适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。
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