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T/NXCL 016-2022 200 mm 重掺锑直拉硅单晶抛光片

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语言：中文版
格式： PDF文档
类别：综合团体标准
更新日期：2023-02-14

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资源简介

本文件规定了200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺等方面的内容。
本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的重掺锑硅单晶的抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。

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