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T/NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅

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  • 大小：263.21 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-14
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资源简介
本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和订货单（或合同）内容等方面的内容。
本文件柱状多晶硅锭适用于刻蚀机中的硅部件产品。
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