本文件规定了流化床法颗粒硅的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷气为原料,采用流化床法生产的颗粒状多晶硅(以下简称颗粒硅)。
替代标准:GB/T 35307-2017
起草人:朱共山、兰天石、蒋立民、贺东江、王彬、李素青、徐梦、徐岩、李朋飞、刘辉、付绪光、秦榕、刘晓霞、宗冰、王永亮、谢岩、田洪先、刘文明
起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)