GB∕T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
标准号：GB/T 21287-2021
标准名称： 电子特气 三氟化氮
英文名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
替代标准：GB/T 21287-2007
引用标准：GB 190 GB/T 601 GB/T 603 GB/T 3723 GB/T 5099(所有部分) GB/T 5832.3 GB/T 6682 GB/T 7144 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 28726 GB/T 33145 TSG R0005 TSG 07 TSG 23
起草人：王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超
起草单位：昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
