GB∕T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。
标准号：GB/T 17874-2021
标准名称： 电子特气 三氯化硼
英文名称：Electronic specialty gas—Boron trichloride
替代标准：GB/T 17874-2010
引用标准：GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099(所有部分) GB/T 7144 GB/T 11736 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 28726 GB/T 33145 GB/T 34972 TSG 07 TSG 23
起草人：施旖旎、赵趫、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、廖恒易、刘健、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平
起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体(上海)有限公司、太和气体(荆州)有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
