南京大学材料科学与工程系列丛书 原子层沉积技术 原理及其应用
作者： 李爱东 编著
出版时间： 2016年版
丛编项： 南京大学材料科学与工程系列丛书
内容简介
《原子层沉积技术 原理及其应用》是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术，还涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化和生物医学领域的应用。《原子层沉积技术 原理及其应用》内容丰富新颖，在注重原子层沉积基本原理和生长机制阐述的同时，又突出了原子层沉积制备材料的先进性和应用的前沿性，反映了原子层沉积技术中的一些新进展和成果，是先进技术原理与实际应用的有机结合。《原子层沉积技术 原理及其应用》可作为高等院校材料科学与工程、化学化工、信息电子、物理等专业研究生的参考书，也可供从事材料合成与制备及其微电子、纳米技术、能源、催化、光学和生物医学等相关领域的科研人员和工程技术人员借鉴参考。
目录
前言
第1章 原子层沉积技术概述
1．1 原子层沉积技术的诞生与发展
1．2 原子层沉积技术的应用与前景
1．3 原子层沉积技术面临的挑战
参考文献
第2章 原子层沉积原理
2．1 原子层沉积基本原理
2．1．1 原子层沉积系统的基本结构
2．1．2 原子层沉积中的表面化学特性
2．1．3 影响原子层沉积速率的因素
2．2 原子层沉积的特点
2．3 原子层沉积分类
2．3．1 原子层沉积反应室
2．3．2 空间原子层沉积
2．3．3 电化学原子层沉积
2．4 原子层沉积中的原位表征与监控
参考文献
第3章 原子层沉积前驱体
3．1 原子层沉积前驱体的要求
3．2 原子层沉积前驱体的种类
3．3 原子层沉积前驱体的特点及其应用
3．3．1 金属类前驱体
3．3．2 非金属类前驱体
3．4 原子层沉积前驱体的设计与理论计算
3．4．1 金属与配体的配键强度
3．4．2 前驱体的热稳定性
3．4．3 前驱体的水解活性
3．4．4 前驱体设计筛选流程
参考文献
第4章 原子层沉积材料与生长机理
4．1 引言
4．2 原子层沉积氧化物
4．2．1 H2O作为氧源
4．2．2 活性氧作为氧源
4．2．3 H2O2作为氧源
4．2．4 醇盐作为氧源
4．3 原子层沉积氮化物
4．3．1 热ALD沉积氮化物
4．3．2 PEALD沉积氮化物
4．4 原子层沉积半导体
4．4．1 元素半导体
4．4．2 Ⅲ-Ⅴ族半导体
4．4．3 Ⅱ-Ⅵ族半导体
4．5 原子层沉积金属
4．5．1 贵金属
4．5．2 过渡金属
4．5．3 活泼金属
4．5．4 原子层沉积金属面临的挑战
参考文献
第5章 原子层沉积理论计算与模拟
5．1 理论计算与模拟方法简介
5．1．1 量子力学方法
5．1．2 分子力学方法
5．1．3 分子动力学模拟
……
第6章 等离子体增强原子层沉积技术及其应用
第7章 分子层沉积及其应用
第8章 原子层沉积在微电子领域的应用
第9章 原子层沉积在纳米技术领域的应用
第10章 原子层沉积在光学领域的应用
第11章 原子层沉积技术在能源领域的应用
第12章 原子层沉积在催化领域的应用
第13章 原子层沉积在生物医学领域的应用
