中国矿业大学教材建设工程资助教材 薄膜的设计、制备及应用
作者：王月花，黄飞
出版时间：2016年版
内容简介
《薄膜的设计制备及应用》综合了国内外现有的薄膜光学和薄膜技术的研究内容、体系，参考了新的薄膜技术与理论发展的新成就，并将这些新技术融人教材。全书主要介绍了薄膜光学的基本理论、薄膜制备方法、薄膜光学的特性测试方法及当下热点的薄膜材料体系。《薄膜的设计制备及应用》既可作为相关专业高年级本科生及研究生的教学用书，也可供广大从事薄膜科学与技术的工程技术人员、科技工作者参考。
目录
1 绪论
1．1 薄膜光学概述
1．2 电磁理论基础
思考题与习题
2 光学薄膜特性的理论计算
2．1 光学薄膜特性计算方法
2．2 光学薄膜的普遍定理
2．3 单一界面上的反射率和透射率
2．4 单层介质膜的反射率
2．5 多层介质膜的反射率
思考题与习题
3 光学薄膜系统的设计
3．1 减反射膜
3．2 高反射膜
3．3 分束镜
3．4 截止滤光片
思考题与习题
4 薄膜制备技术
4．1 真空技术基础
4．2 薄膜制备方法
4．3 薄膜厚度的均匀性
4．4 膜层厚度的监控
思考题与习题
5 薄膜的形成与结构
5．1 凝结过程
5．2 核的形成与生长过程
5．3 薄膜的形成与生长
5．4 薄膜的结构与缺陷
思考题与习题
6 薄膜的表面与界面
6．1 表面界面特征与现象
6．2 吸附机理与吸附膜的形成机理
6．3 表面扩散与界面扩散
6．4 界面电气现象
6．5 界面接触效应
6．6 薄膜中的电迁移现象
思考题与习题
7 薄膜特性的测试
7．1 薄膜光学常数的测量
7．2 薄膜光学性能的测量
7．3 薄膜成分的表征方法
7．4 薄膜结构的表征方法
7．5 薄膜附着力的测量方法
思考题与习题
8 几种重要的功能薄膜材料
8．1 半导体薄膜
8．2 铁电薄膜
8．3 光学薄膜
思考题与习题
参考文献
