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中关村光电产业协会发布《MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法》T/ZOIA 30001-2022 团体标准

2022-12-29 17:31:17 来源：中关村光电产业协会

　　各相关单位：

　　根据国家标准化管理委员会《团体标准管理规定》以及《中关村光电产业协会团体标准管理办法》的有关规定，经审查，《MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法》团体标准符合标准制定全部程序，编号为T/ZOIA 30001-2022，现予以公布，自2022年12月29日起实施。

　　特此公告。

　　中关村光电产业协会

　　2022年12月29日

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