各有关单位：
根据《河北省标准化协会团体标准管理办法》的有关规定，河北省标准化协会批准发布《集成电路用混合气体3%氘/氮》等六项团体标准，该标准于2023年7月27日发布，2023年7月27日实施。现予以发布。
标准的编号及名称如下：
T/CHBAS 32-2023 集成电路用混合气体3%氘/氮
T/CHBAS 33-2023 集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖
T/CHBAS 34-2023 集成电路用混合气体10%氨/氦
T/CHBAS 35-2023 集成电路用混合气体15%氙/氢
T/CHBAS 36-2023 集成电路用混合气体100ppm氢 /氖
T/CHBAS 37-2023 电子工业用气体 乙炔
特此公告。
河北省标准化协会
2023年7月27日
