根据《浙江省半导体行业协会团体标准管理办法》及相关文件要求,经评审专家审核通过,现批准发布《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》等两项团体标准,标准号依次为T/ZJBDT 003-2023、T/ZJBDT 004-2023。该两项标准于2023年5月24日发布,自2023年5月24日起实施。
现予以公告。
附件1:《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》团体标准
附件2:《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》团体标准
浙江省半导体行业协会
2023年5月24日
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返回首页 |根据《浙江省半导体行业协会团体标准管理办法》及相关文件要求,经评审专家审核通过,现批准发布《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》等两项团体标准,标准号依次为T/ZJBDT 003-2023、T/ZJBDT 004-2023。该两项标准于2023年5月24日发布,自2023年5月24日起实施。
现予以公告。
附件1:《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》团体标准
附件2:《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》团体标准
浙江省半导体行业协会
2023年5月24日
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