北京电子仪器行业协会依据《北京电子仪器行业协会团体标准管理办法》(京电仪协字第2016—05号)，按照《标准制修订程序文件》(京电仪协字第2016—16号)的规定，完成团体标准的申请登记、公开征求意见、评审等流程，无异议处理情况，准予发布以下团体标准：
1 朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范 T/BEA 43002-2023
2 微波ECR等离子体发生器校准规范 T/BEA 40002-2022
3 感应耦合等离子体发生器校准规范 T/BEA 40001-2022
北京电子仪器行业协会
2023年3月20日
