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北京电子仪器行业协会发《布朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范》T/BEA 43002-2023等三项团体标准

2023-03-21 10:06:29 来源:北京电子仪器行业协会

  北京电子仪器行业协会依据《北京电子仪器行业协会团体标准管理办法》(京电仪协字第2016—05号),按照《标准制修订程序文件》(京电仪协字第2016—16号)的规定,完成团体标准的申请登记、公开征求意见、评审等流程,无异议处理情况,准予发布以下团体标准:

  1 朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范 T/BEA 43002-2023

  2 微波ECR等离子体发生器校准规范 T/BEA 40002-2022

  3 感应耦合等离子体发生器校准规范 T/BEA 40001-2022

  北京电子仪器行业协会

  2023年3月20日

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