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基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响

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  • 类别：金属综合
关键词：脉冲   制备   薄膜   功率   偏压

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基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响
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