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基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

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  • 类别：金属综合
关键词：电弧   涂层   偏压   热稳定性   基体

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基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响
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