细晶粒高纯铌靶材的研制

采用铝热还原法制备的熔炼铌经过两次真空电子束熔炼得到铌锭,然后在室温下经过大变形程度的反复镦拔获得板坯,再于1100℃下保温1 h进行真空退火,并通过交叉轧制→切割→成品退火→校平→机械加工→表面抛光制成铌板靶材。对成品铌板靶材进行金相和EBSD测试,结果表明:熔炼铌经过两次真空电子束炉熔炼后可以得到纯度为99.99%以上的铌锭,铌锭经室温反复镦拔、锻造开坯并结合冷轧,可以得到平均晶粒尺寸小于30μm的铌靶材,其主要织构为{001}织构,其次为{111}织构。另外,EBSD测试相比金相测试能更好地评价金属再结晶程度和晶粒大小。

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本文档关键词:高纯,研制,晶粒,铌靶材