精四氯化钛中氧碳杂质在线检测技术研究
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利用红外光谱法对四氯化钛(TiCl4)中的氧碳杂质含量进行检测,并成功将该检测方法应用于精TiCl4的在线检测中。在线检测系统样品池由2个腔体串联组成,光程分别是10 mm和40 mm,其中10 mm光程用于检测CCl4含量,40 mm光程用于检测COS、COCl2、CS2、C6Cl6、Si2OCl6、TiOCl2、SO2Cl2、SOCl2、VOCl3、CCl3COCl等化合物含量。样品池采用纯钛材质,窗片采用ZnSn材质,均具有较强的耐腐蚀性。实践证明,该在线检测技术有效解决了精TiCl4检测过程中接触空气水解的难题,使精TiCl4中氧碳杂质检测更加准确。
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本文档关键词:杂质,在线,氯化,技术研究,钛中氧碳