高效柔性气囊抛光工具的稳定性评价方法

随着光学元件口径增大,抛光时间急剧增长,对加工过程特别是工具稳定性的评价将直接影响抛光收敛效率及精度。根据高效柔性气囊抛光工具在实际抛光生产工艺中的工况要求,文中开展了气囊工具稳定性分析评价的实验研究。对球冠半径为160 mm气囊工具头进行结构优化设计分析和开展主动磨损实验,提出并验证了在设计和生产中的性能评价方法。结果表明:当抛光力幅值陡然增高后,对抛光斑进行检测,其表面粗糙度小于500 nm并且去除深度小于1.5μm时,证明气囊工具头已达到其使用寿命。采用该评价标准可以准确判断气囊工具头在使用时的磨损程度和稳定性情况。

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本文档关键词:抛光,气囊,高效,工具,柔性