面向绿色能源产品的多晶硅生产过程少子寿命提升研究
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为提升绿色能源多晶硅的少子寿命(Minority Carrier Lifetime,MCI),根据生产过程中影响少子寿命的特性要因,引入六西格玛管理法,按照DMAIC(定义D、测量M、分析A、改进I和控制C)分析流程提出质量改进方案并实施,最终得到满意结果:少子寿命(MCI)由3.69μs提升到4.16μs,工序能力指数CPK由0.66提高到1.09;实证分析表明,运用六西格玛管理法不仅提升了硅材料的少子寿命,实现了预期目标,还产生了显著的经济收益。
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本文档关键词:提升,面向,能源,绿色,多晶