集成倾斜像差校正功能的单压电变形镜

传统自适应光学系统中变形镜与倾斜镜为分体式设计,会增大光学组件体积,增加结构复杂性。对此,设计了一种集成倾斜像差校正功能的单压电变形镜,为变形镜的集成化设计提供新思路。介绍了这一变形镜的结构和工作原理,通过有限元方法对这一变形镜的性能进行仿真,验证其像差校正性能与谐振频率。仿真结果表明,所设计的变形镜偏转行程为-2.54~2.54 mrad,结构具有较高的刚度水平,泽尼克多项式前20项像差重构面形的归一化残差均小于8%。

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本文档关键词:校正,变形,倾斜,功能,压电