微孔超精密加工研究进展

近年来,电子、医药、航空航天等行业对高质量微孔结构的需求量日益增加,但加工精度低、加工半径尺寸受限、在复杂零件上加工困难等问题限制了其应用。传统微孔加工方法已无法满足高加工质量要求,超精密微孔加工方式仍有许多问题亟待解决。因此,本文对电化学、微细电火花、超声波、飞秒激光、复合加工等超精密加工方式在微孔加工中存在的问题进行了总结,并对不同的超精密加工方法的特点和相应问题的研究进展进行了综述,最后对微孔加工方式未来的发展趋势进行了展望。

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本文档关键词:精密,加工,微孔,研究进展