大深径比微孔加工新工艺研究

针对已有贝塞尔光束生成方法存在的缺陷,提出一种基于压电变形镜的贝塞尔光束微孔加工新工艺,应用于大深径比微孔加工。采用新工艺,形成的微孔直径为11~16μm,侧壁孔深为1140~1930μm,深径比大于100,且深径比在一定范围内随激光脉冲能量的增大而增大。贝塞尔光束加工微孔形貌与高斯光束加工微孔形貌相比,具有细长、均匀、平滑的优点。通过聚甲基丙烯酸甲酯加工试验,证明了压电变形镜能够产生较高质量的贝塞尔光束,可应用于大深径比微孔加工。

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本文档关键词:加工,微孔,新工艺,研究,大深径