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基体偏压对磁控溅射制备CrAlN薄膜摩擦学性能的影响

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  • 类别：机械综合
关键词：制备   薄膜   摩擦   偏压   磁控溅射

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基体偏压对磁控溅射制备CrAlN薄膜摩擦学性能的影响
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