三甲基铝的应用研究及纯化工艺
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金属有机气相外延(MOVPE)作为一种重要的薄膜制备技术,在光电子、半导体、太阳能电池等领域具有广泛的应用。三甲基铝作为一种常见的金属有机源,在金属有机气相外延(MOVPE)过程中发挥着关键作用,广泛应用于太阳能、全色系LED的有机Al源、第三代半导体以及射频集成电路高K材料,也可以用于射频集成电路芯片制造。本文主要介绍了三甲基铝的基本性质、在金属有机气相外延(MOVPE)过程中的作用及其提纯工艺,并对未来发展趋势进行了展望。
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本文档关键词:化工,甲基,研究