金属氧化物半导体传感器用于甲醛现场快速检测的研究进展
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随着社会经济的不断发展和人们生活水平的提高,对室内居住环境的要求也越来越高,但是室内多种装修不可避免地导致甲醛等挥发性有机物污染,严重影响人们的健康,因此对甲醛气体的现场检测具有重要的意义。在多种检测方法中,基于金属氧化物(MOS)气体传感器具有及时、快速、灵敏等特点,已成为气体污染物检测与防治领域的重要手段。综述了基于不同MOS的纳米结构用于甲醛检测的研究进展,总结了SnO2、In2O3、ZnO、CuO及三元MOS纳米结构对甲醛检测的现状,并展望了MOS基甲醛传感器未来的发展方向。
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本文档关键词:氧化物,传感器,半导体,金属,快速