三氯氢硅除硼吸附性能研究

利用固体吸附剂来去除三氯氢硅(TCS)中的极性杂质硼是电子级多晶硅的生产领域中是一种比较有效方法。本文利用四氯化铂作为吸附质,以层析硅胶作为载体,制备出一种载体型除硼吸附剂。并将其应用于吸附三氯氢硅中的硼杂质,考察其吸附性能。实验结果表明:制备的硅胶/四氯化铂载体型除硼吸附剂具有明显的除硼吸附效果。

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本文档关键词:吸附性,研究,三氯氢硅