TiN硬质陶瓷薄膜研究进展
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TiN薄膜具有优异的综合性能而受到广泛应用和研究。综述了TiN薄膜的多种制备技术,介绍了制备技术和工艺参数对TiN薄膜结构和性能影响,阐述了TiN薄膜应用领域,最后展望了TiN薄膜未来发展方向。
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本文档关键词:薄膜,陶瓷,研究进展,硬质,TiN