金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究

采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响。结果表明,当原料颗粒浓度为235 g/m3、采用液相反冲滤饼剥离方式时,出口颗粒平均浓度为2.1 g/m3,过滤效率为99.1%。

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本文档关键词:放大,净化,金属,用于,硅烷