我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究
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当前半导体行业的关键设备及关键部件基本由欧美日垄断,加上技术封锁造成的代差,未来很长一段时间我国半导体设备制造在软硬件上都无法实现质的跨越。通过综述国内外半导体清洗装备行业发展现状,以半导体清洗机的关键部件——嵌入式高压空气泵为例,从经济性评价指标、技术可行性和知识产权风险、博弈四个维度分析当前难于国产化之困局,寻求破局之策。
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本文档关键词:清洗,国产化,部件,半导体,设备