一种多晶硅质量下滑原因的分析方法

阐述了一种使用便携式四探针电阻检测仪判断多晶硅质量下滑原因的方法。通过检测多晶硅的截面电阻,以多晶硅生长规律为依据,估测发生质量下滑的时间,并用初步判断造成质量下滑原料类别的方式来辅助判定质量下滑原因,为质量恢复期间多晶硅产品品级的判定提供依据。