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电子束直写大深宽比Si_(3)N_(4)薄膜支撑的光栅X射线准直器

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  • 类别：光学工程
关键词：薄膜   射线   支撑   电子束   光栅

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电子束直写大深宽比Si_(3)N_(4)薄膜支撑的光栅X射线准直器
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