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沟槽栅IGBT非晶Si填槽工艺研究与优化

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  • 类别：电子信息
关键词：工艺   优化   沟槽   研究   IGBT

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沟槽栅IGBT非晶Si填槽工艺研究与优化
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  • 本文档关键词:工艺,优化,沟槽,研究,IGBT

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