退火对TiCN薄膜特性的影响
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采用中频反应磁控溅射技术可使SrTiO3外延生长而形成TiCN薄膜,其具有疏油和疏水等特性。退火处理能消除TiCN薄膜中的柱状晶,细化晶粒。TiCN薄膜能在退火过程中获取能量继续生长,并通过薄膜与基底之间原子的相互扩散,降低薄膜的内应力,优化膜结构,减少缺陷,改善膜的表面质量,从而提高薄膜的疏水性和膜-基结合力。TiCN薄膜在350℃保温60min退火后,表面均匀致密,发生二次生长,与水的最大接触角119.3°,比与油的接触角大10°,表面粗糙度最大值为284.3nm,膜与基底的结合牢固。
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本文档关键词:薄膜,特性,退火,影响,TiCN