真空(脉冲)氮化工艺过程

工件装入真空炉后开始抽气至0.1Pa的真空,通电升温加热,工件达到要求的渗氮温度后(一般520~560℃),保温一段时间(30~60min,视装炉量而定),净化工件表面和透热,然后停止抽真空,向炉内通入渗氮气体(氨气等),使炉压升高至50~70Pa,保持一定时间(2~5min),再抽真空至5~10Pa,并保持一定时间,停抽,再通入氨气至50~70Pa,如此反复多次“充气-抽气”,直到渗层达到要求为止,最后降温至一定温度(200~300℃)出炉。在整个渗氮过程中炉温可保持不变或变动。

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本文档关键词:脉冲,真空,氮化,过程