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等离子增强化学气相沉积制备氮化硅薄膜的工艺优化与性能

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  • 类别：热处理论文
关键词：制备   薄膜   沉积   化学   优化

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等离子增强化学气相沉积制备氮化硅薄膜的工艺优化与性能
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