硅锭线切割张力控制方法对比研究

为满足低成本、低切损、高精度、高稳定性的硅片切割要求,在分析常用的两种线切割张力控制方法优缺点的基础上,采用ADAMS软件进行了弹簧式张力控制原理的建模与动力学仿真,并基于Simulink与MFAC控制算法对电控式张力控制进行了ADAMS与MATLAB动力学联合仿真。结果表明,两种张力控制方法所得到的电极丝加速度变化曲线走势一致,电控式张力控制在快速性及精确性方面优于弹簧式张力控制,但平稳性较差。进而,提出弹簧与电控相结合的张力控制方法,并在ADAMS中完成建模与动力学仿真。结果表明,该装置可在一定程度上取长补短。

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本文档关键词:张力,切割,对比,控制,研究