电化学溶解对掩膜电化学沉积表面质量改进研究

为解决微纳三维结构的高质量加工难题,提出基于掩膜化学沉积的复合电化学加工技术,通过对比试验和负向脉冲参数优化试验,分析了负向脉冲个数、负向脉冲峰值电流及负向脉冲宽度对微纳三维结构表面粗糙度的影响规律。结果表明:复合电化学加工技术可有效降低微纳三维结构表面粗糙度值,且随着负向脉冲个数增大,微纳三维结构的表面粗糙度值呈线性下降,负向脉冲峰值电流和负向脉冲宽度增大,表面粗糙度值呈先降低后增大的趋势。综合试验结果,电化学复合加工的最佳负向脉冲个数为20000,负向脉冲峰值电流为70 mA,负向脉冲宽度为0.5 ms。

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本文档关键词:沉积,溶解,表面,改进,质量